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氣體放電與等離子體診斷儀
氣體放電與等離子體診斷儀

SSV-40型氣體放電與等離子體診斷儀由東北大學真空與流體工程研究所教授團隊研究開發(fā),面向全國各高校。

整套設備包括朗繆爾探針、氣體放電管、測量系統(tǒng)、真空系統(tǒng)、進氣系統(tǒng)等部分組成。

朗繆爾探針、工作電壓、工作氣壓、氣體流量等部分均可獨立控制并且自由調節(jié)。

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氣體放電與等離子體診斷儀

產(chǎn)品信息:

SSV-40型氣體放電與等離子體診斷儀由東北大學東北大學真空與流體工程研究所教授團隊研究開發(fā),面向全國各高校。整套設備包括朗繆爾探針、氣體放電管、測量系統(tǒng)、真空系統(tǒng)、進氣系統(tǒng)等部分組成。朗繆爾探針、工作電壓、工作氣壓、氣體流量等部分均可獨立控制并且自由調節(jié)。

從而利用該裝置可實現(xiàn)的主要實驗內(nèi)容有:

1. 氣體放電下放電管的V-I特性

2. 放電管內(nèi)輝光放電外型圖

3. 等離子體分析








通過上述實驗應使學生充分理解的知識點包括:

1. 湯生放電原因以及過程

2. 帕刑定律以及著火電壓

3. 放電管的V-I 特性及原因

4. 輝光放電的外型及解釋

5. 空間電荷及等離子體

6. 等離子體空間電位

7. 等離子體懸浮電位

8. 等離子體密度(電子密度=離子密度)

9. 電子溫度

10. 朗繆爾探針(單探針)進行等離子體診斷的理論

主要技術參數(shù):

1.設備尺寸:850×500×1700 mm,可移動;

2.電源特性:220V AC,50Hz;

3.總功率:500W;

4.工作壓力范圍:20~80Pa,可調;

5.放電電流范圍:0~5mA;

6.放電管尺寸:φ35×300mm2;

7.放電電壓范圍:0~1300V;

8.電極:φ30圓盤電極,304不銹鋼,極間距可調;

9.朗繆爾探針:φ0.2mm,長10mm,鎢絲;

10.探針驅動電壓:-100V~100V

11.探針電流:0~1000uA

12.極限真空:<1 Pa,<2 min

13.環(huán)境要求:-30~40℃,干燥清潔







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