CINDBEST CGO-4 | 2"~6" 高低溫真空探針臺(tái)測(cè)試系統(tǒng)
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◆特點(diǎn)/應(yīng)用
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◆極低溫測(cè)試
因?yàn)榫A在低溫大氣環(huán)境測(cè)試時(shí)，空氣中的水汽會(huì)凝結(jié)在晶圓上，會(huì)導(dǎo)致漏電過大或者探針無法接觸電極而使測(cè)試失敗。避免這些需要把真空腔內(nèi)的水汽在測(cè)試前用泵抽走，并且保持整個(gè)測(cè)試過程泵的運(yùn)轉(zhuǎn)。
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| ◆ 腔體規(guī)格 | |
| 型號(hào) | CGO-2/CGO-4/CGO-6 |
| 樣品臺(tái)尺寸 | 2英寸/4英寸/6英寸 |
| 樣品固定 | 彈簧壓片 |
| 觀察窗口 | 2英寸/4英寸/6英寸 |
| 真空度 | 10-6torr |
| 探針臂接口 | 4~6個(gè)探針臂接口 |
| 其他接口 | 電信接口、真空接口、光纖接口、冷源接口 |
| 制冷方式 | 液氮/液氦/制冷機(jī) |
| 溫度范圍 | 77K到573K/4.5K到573K |
| 溫控精度 | 0.1K/0.01K/0.001K |
| 穩(wěn)定性 | ±1K/±0.1K/±0.01K |
| 外形 | 880mm長*880mm寬*600mm高/980mm長*980mm寬*600mm高 |
| 重量 | 約100千克/120千克 |
| ◆光學(xué)系統(tǒng) | |
| 顯微鏡類型 | 單筒顯微鏡/體式顯微鏡/金相顯微鏡 |
| 放大倍率 | 16X-200X/20X-4000X |
| 移動(dòng)行程 | 水平360度旋轉(zhuǎn)，Z軸行程50.8mm |
| 光源 | 外置LED環(huán)形光源/同軸光源 |
| CCD | 200萬像素/500萬像素/1200萬像素 |
| ◆探針臂 | |
| X-Y-Z移動(dòng)行程 | 50mm*50mm*50mm |
| 結(jié)構(gòu) | 外置探針臂，真空波紋管結(jié)構(gòu) |
| 移動(dòng)精度 | 10微米/1微米 |
| 線纜 | 同軸線/三軸線/射頻線 |
| 漏電精度 | 10pA/100fA/10fA |
| 固定探針 | 彈簧固定/管狀固定 |
| 接頭類型 | BNC/三軸/香蕉頭/鱷魚夾/接線端子 |
| 頻率支持 | DC-67GHZ |
| 針尖直徑 | 0.5微米/1微米/2微米/5微米/10微米/20微米 |
| ◆其他組件 | |
| 真空組件 | 分子泵組/機(jī)械泵/離子泵 |
| 冷源組件 | 50L/100L液氮罐/液氦罐/制冷機(jī) |
| ◆可選附件 | |
| 超高溫配件 | |
| 顯示器 | |
| 轉(zhuǎn)接頭 | |
| 射頻測(cè)試配件 | |
| 屏蔽箱 | |
| 光學(xué)平臺(tái) | |
| 鍍金卡盤 | |
| 光電測(cè)試配件 | |
| 高壓測(cè)試配件 | |
| 分子泵組 | |
| 激光系統(tǒng) | |
| 氣敏測(cè)試配件 | |
PS:探針臺(tái)可根據(jù)客戶要求定制。
規(guī)格及設(shè)計(jì)如有更改，恕不另行通知。
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