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CP200系列 |200mm半自動(dòng)探針臺(tái)

◆主要技術(shù)參數(shù)
可測片型	3 寸、 4寸、5寸，6寸、8寸
測試硅片單元尺寸	20—300 mil
X-Y軸采用先進(jìn)的直線電機(jī)驅(qū)動(dòng)，行程	250mm*350mm
X-Y軸移動(dòng)分辨率	0.1μm
X-Y軸重定位精度	≤±1μm
X-Y移動(dòng)速度	≥80mm/sec
Z軸采用高精度4導(dǎo)軌結(jié)構(gòu)，有效保證負(fù)載和垂直度，行程	20mm
Z軸移動(dòng)分辨率	0.1um
Z軸重定位精度	≤±1μm
Z軸移動(dòng)速度	≥20mm/sec
Theta軸采用高精度DD馬達(dá)，角度行程：±10°，Theta角度分辨率	0.00018°
誤測率	≤ 1 ‰
全自動(dòng)對位時(shí)間	≤ 15 s
測試速度	45 mil 5.0 pcs/s
	50 mil 4.6 pcs/s
	87 mil 4.2 pcs/s
步進(jìn)分辨率	0.001
Z向行程	0～5mm 可調(diào)
承片臺(tái)轉(zhuǎn)角θ調(diào)節(jié)范圍	±20o

CP200型自動(dòng)對位探針臺(tái)能 對晶片實(shí)現(xiàn)自動(dòng)對位測試，操作簡單， 快捷，測試精度高，具有MAP顯示功 能。它與測試儀連接后，能自動(dòng)完成 對各種晶體管芯的電參數(shù)測試及功能 測試 。
操作方式 CP200型自動(dòng)對位探針臺(tái) 提供了清晰直觀的觸屏操作頁面， 手觸點(diǎn)擊即可完成對晶片的自動(dòng)對 位測試。                  機(jī)器軟件的操作界面	除此之外還提供了更加簡潔 方 便的小鍵盤操作方式，操作者可依據(jù) 個(gè)人偏好和習(xí)慣選擇任意種操作 。 功能小鍵盤
機(jī)器功能 具有自動(dòng)掃描對位功能，對位精度 高、速速快，Windows7界面，動(dòng)態(tài)map 圖顯示測試過程。	具有圓形測試，范圍重測，探邊 測試，范圍打點(diǎn)，回收測試，矩形 測試和脫機(jī)打點(diǎn)多種測試功能。
具有X、Y、Z三軸運(yùn)動(dòng)結(jié)構(gòu)，操作軟 件能對垂直度、平面度進(jìn)行精度補(bǔ)償，保 證機(jī)器的控制精度和工作的穩(wěn)定性。	具有實(shí)時(shí)打點(diǎn)、脫機(jī)打點(diǎn)和滯 后打點(diǎn)功能。新型打點(diǎn)器，使用時(shí) 間長達(dá)3天，不滴墨，省去60%的操作時(shí)間。
具有Z軸行程分段運(yùn)動(dòng)功能，其 分為基本高度、接觸高度、接觸緩沖、 過沖高度和折回高度，并且具有探邊 功能，防止測試過程中探針對芯片的 劃傷和探針與芯片的接觸不良。	測試針痕比例圖片（反光白點(diǎn)為針痕） 多個(gè)芯粒                            單個(gè)芯粒

PS:探針臺(tái)可根據(jù)客戶要求定制。

規(guī)格及設(shè)計(jì)如有更改，恕不另行通知。