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探針臺(tái)
CS-4小型探針臺(tái)


CS系列探針臺(tái)最大可用于6英寸以內(nèi)樣品測(cè)試 ;

滿I-V/C-V,PIV測(cè)試,光電測(cè)試等。

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CS -4| 4" 精密I-V測(cè)試測(cè)量探針臺(tái)系統(tǒng)


特點(diǎn)/應(yīng)用

  • 滿足I-V/C-V,PIV測(cè)試,光電測(cè)試等

  • 最大可用于6英寸以內(nèi)樣品測(cè)試

  • 同軸絲杠傳動(dòng)結(jié)構(gòu),線性移動(dòng)

  • 可放置于手套箱內(nèi)使用

  • 形狀輕巧,操作方便,價(jià)格實(shí)惠



探針臺(tái)
◆臺(tái)體規(guī)格
尺寸 4英寸/6英寸
水平旋轉(zhuǎn) 360度旋轉(zhuǎn),可微調(diào)15度,精度0.1度,帶角度鎖死裝置
X-Y移動(dòng)行程 4英寸*4英寸
X-Y移動(dòng)精度 10微米
樣品臺(tái)Z軸調(diào)節(jié) 可升降10mm
樣品固定 真空吸附,中心吸附孔,多圈吸附環(huán)
針座平臺(tái) U型針座平臺(tái),最多可放置6個(gè)探針座
背電極測(cè)試 樣品臺(tái)電學(xué)獨(dú)立懸空,4mm插孔可接背電極
外形尺寸 400mm長(zhǎng)*400mm寬*500mm高
重量 25千克
◆光學(xué)系統(tǒng)
顯微鏡類型 單筒顯微鏡/體式顯微鏡
放大倍率 16X-200X
移動(dòng)行程 水平方向繞立柱360度旋轉(zhuǎn),Z軸50.8mm
光源 外置LED無(wú)極調(diào)節(jié)亮度環(huán)形光源
CCD 200萬(wàn)像素/500萬(wàn)像素/1200萬(wàn)像素
◆探針座
X-Y-Z移動(dòng)行程 12mm*12mm*12mm
移動(dòng)精度 10um/2um/0.7um/0.5um
吸附方式 磁力吸附/真空吸附
線纜 同軸線/三軸線
漏電精度 10pA/100fA/10fA
固定探針 彈簧固定/管狀固定
接頭類型 BNC/三同軸/香蕉頭/鱷魚夾/接線端子
針尖直徑 0.2um/1um/2um/5um/10um/20um
針尖材質(zhì) 鎢鋼/鈹銅
◆可選附件
加熱臺(tái)
顯示器
轉(zhuǎn)接頭
射頻測(cè)試配件
屏蔽箱
光學(xué)平臺(tái)
鍍金卡盤
光電測(cè)試配件


 

 

PS:探針臺(tái)可根據(jù)客戶要求定制。
規(guī)格及設(shè)計(jì)如有更改,恕不另行通知。

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